等離子清洗機基礎知識以及清洗原理
瀏覽次數:104 次 更新時(shí)間:2020-06-10
等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來(lái)達到常規清洗方法無(wú)法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現清潔、涂覆等目的。
等離子清洗機基礎知識
等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。
等離子清洗機清洗原理
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
在真空腔體里,通過(guò)射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無(wú)序的等離子體,通過(guò)等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達到清洗目的.
等離子清洗機結構
等離子清洗機的結構主要分為三個(gè)大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個(gè)部分做一個(gè)陳述:
一、控制單元:
目前國內使用的等離子清洗機,包括國外進(jìn)口的,控制單元主要分為半自動(dòng)控制、全自動(dòng)控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。
而控制單元又分為兩個(gè)大的部分:1)電源部分:主要電源頻率有三種,分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要電源匹配器的,而2.45GHz又稱(chēng)為微波等離子,主要的功能作用,前面已經(jīng)提到了,這里就不一一介紹了。2)系統控制單元:分三種,按鈕控制(半自動(dòng)、全自動(dòng))、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)。
二、真空腔體:
真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的:1)不銹鋼真空腔體,2)石英腔體。
三、真空泵:
真空泵分為兩種:1)干泵?、2)油泵